蓝宝石衬底性能及检测方法介绍(1)——弯曲度_天通蓝宝石

蓝宝石衬底功能及检测办法引见(1)——集中全力于度


蓝宝石透明的硬性高、熔点高、良好的光传送性、具有良好的耐热震性和化学作用稳定性,国防、航空与航天空间、范围广泛的应用于工业界和一生管辖范围,特殊适当
LED的衬底数据。


蓝宝石衬底弥撒曲跟随
GaN内涵层开发与蓝光D的功能和投资的收益,优质基材的夸张的行动或形象,非但需求善良的基材准备任务技术,基材弥撒曲检测技术也一非常重要的环节。。


蓝宝石衬底的平整度是衬底的用铰链连接按生活目录调整经过。,眼前,业界对蓝宝石平整度的关怀次要集合在集中全力于某方面。
BOW)、翘弯曲部分(SORI总厚度乖戾TTV)上。接下来,咱们将引见这些尺寸办法和集中定位按生活目录调整。。


在这个问题中,咱们率先引见了蓝宝石衬底的曲面。
BOW检测办法及集中定位按生活目录调整。


集中全力于度(
BOW):自在薄片集中面病症中间的间隔。中面基点立体是由装设的以内薄片标称直径的直径边缘上的三个等间隔点决议的立体。

蓝宝石衬底BOW值的测,眼前,光波打扰是职业中比较地遍及的方法。,经用的测装置有NIDEXFT-17FT-900集合。
蓝宝石衬底功能及检测办法引见(1)——集中全力于度


FT-17

蓝宝石衬底功能及检测办法引见(1)——集中全力于度


FT-900

BOW值测时,应用非涌出环境,以最小二乘方法计算的假装的立体为基点。BOW
评价是任务激励的评价
(测在表面工作)无条件的T的无条件的和无条件的积和。激励测值的用符号代表。。

 
  当基面途径夹具时:
BOW = | A
|

蓝宝石衬底功能及检测办法引见(1)——集中全力于度 
  当基点在棱柱体附近地时:
BOW = -| A |
蓝宝石衬底功能及检测办法引见(1)——集中全力于度


BOW值的基准,SEMI集中定位基准有详细规则。不过蓝宝石衬底的图形化PSS)的开展,内涵厂家对蓝宝石的集中全力于有高地的的想要,了解内幕的人也对这一目录罗盘了高地的的共识。。


天童从事高弥撒曲SAPPHI的研究与开发、夸张的行动或形象在市场上出售某物,拿住要点能力,引起了能力与数据相结合的要点技术,高弥撒曲蓝宝石衬底的夸张的行动或形象能力,蓝宝石衬底夸张的行动或形象
BOW评价优于职业程度。

蓝宝石衬底功能及检测办法引见(1)——集中全力于度

 职业及天通蓝宝石衬底BOW值将按比例放大